退火温度对磁控溅射TiO₂薄膜相变的影响

来源期刊：稀有金属与硬质合金2016年第5期

论文作者：梅海林 唐立丹 王冰 梅思涵

文章页码：60 - 63

关键词：TiO2薄膜;磁控溅射;锐钛矿;金红石;退火温度;

摘    要：利用射频磁控溅射制备了TiO₂薄膜,通过X射线衍射仪、扫描电镜、四探针等手段对薄膜进行了表征,研究了氩气气氛下退火温度对TiO₂薄膜的形貌、结构和电学性能的影响。研究结果表明,氩气气氛下600℃退火的TiO₂薄膜颗粒大小均匀,表面结构致密。400⁶00℃退火时薄膜为单一的锐钛矿相,700℃退火时薄膜为非晶相,800℃退火时薄膜完全转变为金红石相。退火温度为500℃时,该TiO₂薄膜的电阻率最低,电学性能最佳。