ITO透明导电薄膜的制备方法及研究进展
来源期刊：材料开发与应用2010年第4期
论文作者：江自然
文章页码：68 - 157
关键词：ITO薄膜;透明导电薄膜;制备方法;研究进展;
摘 要：概述了透明导电薄膜的分类及ITO薄膜的基本性质,综述了用于制备ITO薄膜的磁控溅射法、真空蒸发法、溶胶-凝胶法、喷雾热解法、化学气相沉积法,论述了不同制备方法的优缺点。最后,介绍了ITO薄膜的应用现状,并对ITO薄膜的发展趋势进行了展望。
江自然
中南大学材料科学与工程学院
摘 要：概述了透明导电薄膜的分类及ITO薄膜的基本性质,综述了用于制备ITO薄膜的磁控溅射法、真空蒸发法、溶胶-凝胶法、喷雾热解法、化学气相沉积法,论述了不同制备方法的优缺点。最后,介绍了ITO薄膜的应用现状,并对ITO薄膜的发展趋势进行了展望。
关键词：ITO薄膜;透明导电薄膜;制备方法;研究进展;
