提高精密工作台定位精度的温度补偿研究
来源期刊:机械设计与制造2010年第3期
论文作者:姜克壮 程维明 欧阳航空
文章页码:112 - 114
关键词:精密定位工作台;温度;误差补偿;定位精度;
摘 要:精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型,分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响,给出了基于温度精密测量的工作台定位精度实时补偿方法,并通过实验对补偿方法的效果进行了验证,证明方法有十分明显的补偿效果。
姜克壮,程维明,欧阳航空
上海大学机电工程与自动化学院精密仪器及机械系
摘 要:精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型,分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响,给出了基于温度精密测量的工作台定位精度实时补偿方法,并通过实验对补偿方法的效果进行了验证,证明方法有十分明显的补偿效果。
关键词:精密定位工作台;温度;误差补偿;定位精度;