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溅射态原位加热NiTi形状记忆合金薄膜的结构性能研究

来源期刊：稀有金属材料与工程2006年第11期

论文作者：徐东袁振宇刘毓舒蔡炳初

关键词：NiTi形状记忆合金薄膜; 原位加热; 织构; 微驱动器;

摘要：研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射工艺.结果发现:溅射时采用原位加热可直接获得具有织构的晶化薄膜,提高溅射功率将使薄膜的相变温度升高.

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徐东¹，袁振宇¹，刘毓舒¹，蔡炳初¹

(1.上海交通大学,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030)

摘要:研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射工艺.结果发现:溅射时采用原位加热可直接获得具有织构的晶化薄膜,提高溅射功率将使薄膜的相变温度升高.

关键词:NiTi形状记忆合金薄膜; 原位加热; 织构; 微驱动器;

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