二氧化钒微测辐射热计的制备及工艺

来源期刊：功能材料与器件学报2010年第4期

论文作者：王利霞 何秀丽 高晓光

文章页码：305 - 310

关键词：二氧化钒;微测辐射热计;MEMS;红外;

摘    要：针对二氧化钒微测辐射热计在红外吸收型气体检测方面的应用,采用微电子机械系统(MEMS)体硅工艺制备了二氧化钒微测辐射热计,重点对关键工艺进行了研究;通过优化工艺参数及步骤,制得的微测辐射热计结构稳定,成品率高;对单元器件的性能参数进行测试,结果表明,在光源调制频率为1Hz时,单元器件的响应率为18.1kV/W;探测率为1.37×108cmHz1/2/W;热时间常数为72.4ms。