W含量对(V,W)N复合膜显微结构与性能的影响

来源期刊：粉末冶金材料科学与工程2014年第2期

论文作者：喻利花 王杰 许俊华

文章页码：248 - 252

关键词：(V,W)N复合膜;显微结构;力学性能;摩擦性能;

摘    要：采用JGP-450复合型高真空多靶磁控溅射设备,制备不同W含量的（V,W）N复合膜。利用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪及摩擦磨损仪分别对（V,W）N复合膜的显微结构、力学性能及摩擦性能进行表征。结果表明:（V,W）N复合膜主要由面心立方结构VN相和六方结构V2N相组成;（V,W）N复合膜的显微硬度呈先增大后减小的趋势,而摩擦因数与之相反,当W含量x（W）为26.67%时,（V,W）N复合膜显微硬度达到最大值25.1 GPa,同时平均摩擦因数达到最小值0.323 8,并讨论了W含量对性能的影响机理。