Co₅₆Ta₃₅B₉非晶合金薄膜纳米压痕蠕变行为研究

来源期刊：上海金属2019年第6期

论文作者：马昕迪 李培友 王刚

文章页码：39 - 43

关键词：非晶合金薄膜;衬底温度;蠕变;应变速率敏感指数;剪切转变体积;

摘    要：在不同衬底温度（298、373和473 K）下,采用磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备了Co₅₆Ta₃₅B₉非晶合金薄膜。利用纳米压痕技术研究了非晶合金薄膜的蠕变行为。结果表明:薄膜的模量和硬度随衬底温度的升高而升高。随着衬底温度的升高,薄膜在蠕变过程中的应变速率敏感指数降低,蠕变抗力增大,剪切转变区体积缩小,塑性降低。采用纳米压痕保载阶段的数据拟合延迟谱,发现衬底温度越高,对应的延迟谱的峰强越低,说明原子排列均匀,从而解释了其模量和硬度提高的原因。