氮化铪在蓝宝石衬底上的镀膜研究

来源期刊：材料导报2016年第S2期

论文作者：李玉磊 陈小源 奚衍罡

文章页码：68 - 71

关键词：蓝宝石衬底;氮化铪;岩盐结构;反应式磁控溅射;

摘    要：利用反应式磁控溅射镀膜系统在蓝宝石衬底上制备了氮化铪（HfxN）薄膜,系统研究了氮气流量fN和镀膜温度Ts对HfxN薄膜的物相组成、晶体结构和电学性质的影响。实验结果表明,在fN=3sccm时,可以在蓝宝石衬底上获得化学计量比接近1的HfxN薄膜,方块电阻为5.24Ω/sq;X射线衍射光谱（XRD）结果显示薄膜为岩盐结构的δ-HfN相;提高镀膜温度可以显著提高HfxN薄膜在蓝宝石衬底上的晶体质量,并且薄膜趋于（111）方向单晶生长;原子力显微镜（AFM）显示薄膜表面平整,均方根粗糙度Rq=0.193nm。