蓝宝石衬底上制备SiO2薄膜的研究
来源期刊：材料科学与工艺2005年第2期
论文作者：刘文婷 李阳平 冯丽萍 陈继权 刘正堂
关键词：磁控反应溅射; 蓝宝石; 二氧化硅薄膜;
摘 要：采用射频磁控反应溅射法,以高纯Si为靶材,高纯O2为反应气体,成功地在蓝宝石基片上制备出了二氧化硅(SiO2)薄膜,并对薄膜的沉积速率、成分、结构及红外光学性能进行了研究.结果表明,制备的SiO2薄膜与蓝宝石衬底结合牢固;和其它镀膜技术相比,射频磁控反应溅射法可以在较低的温度下制备出SiO2薄膜;制备出的SiO2薄膜在3～5μm波段对蓝宝石衬底有明显的增透效果.
刘文婷1，李阳平1，冯丽萍1，陈继权1，刘正堂1
(1.西北工业大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710072)
摘要:采用射频磁控反应溅射法,以高纯Si为靶材,高纯O2为反应气体,成功地在蓝宝石基片上制备出了二氧化硅(SiO2)薄膜,并对薄膜的沉积速率、成分、结构及红外光学性能进行了研究.结果表明,制备的SiO2薄膜与蓝宝石衬底结合牢固;和其它镀膜技术相比,射频磁控反应溅射法可以在较低的温度下制备出SiO2薄膜;制备出的SiO2薄膜在3～5μm波段对蓝宝石衬底有明显的增透效果.
关键词:磁控反应溅射; 蓝宝石; 二氧化硅薄膜;
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