溅射钽靶材用高纯钽粉工艺研究

李仲香^1,2，杨国启^1,2，陈学清^1,2，程越伟^1,2，李慧^1,2，张健康²

1. 宁夏东方钽业股份有限公司2. 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心

摘 要：分析了高纯钽粉生产的技术特点,介绍了一种改进的钽靶材用高纯钽粉的生产方法。采用高温脱氢(900~950℃)和低温脱氧(700~800℃)分步进行的工艺,有利于钽粉氧、氢、镁含量及粒度的控制,所得样品兼具低氧和小粒度的特点。采用真空热处理(700~800℃)工艺可以有效除去脱氧后残余的金属镁、酸洗带入的H、F等杂质,确保颗粒不长大,同时使杂质含量得到了很好的控制。

关键词：钽粉;钽靶材;高纯;