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反应自生成AIN传质过程的研究

来源期刊:东北大学学报(自然科学版)1996年第4期

论文作者:王群 王文忠 高钦

关键词:AIN反应自生成;氮化;传质;生长;

摘    要:根据反应自生成AIN的传质及生长特征,构造出传质模型,并建立了传质方程.分析表明:整个反应过程分AIN晶体生长并伴随Si元素富集及AIN,Sicry晶体共生两个阶段进行,N原子的扩散传质速率是控制总反应速率的关键因素.

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反应自生成AIN传质过程的研究

王群,王文忠,高钦

东北大学钢铁冶金系大连理工大学材料系

摘 要:根据反应自生成AIN的传质及生长特征,构造出传质模型,并建立了传质方程.分析表明:整个反应过程分AIN晶体生长并伴随Si元素富集及AIN,Sicry晶体共生两个阶段进行,N原子的扩散传质速率是控制总反应速率的关键因素.

关键词:AIN反应自生成;氮化;传质;生长;

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