过渡金属氮氧化物制备方法的研究进展
来源期刊：材料导报2012年第9期
论文作者：汪广进 余意 程凤 梁聪 徐甜 潘牧
文章页码：27 - 31
关键词：过渡金属氮氧化物;溅射法;化学气相沉积法;化学合成法;
摘 要：综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法,主要包括溅射法(磁控溅射法和等离子体溅射法)、化学气相沉积法(等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法)和化学合成法(氨解法、原位热解法和氮化物氧化法)三大类,并总结了常用的溅射法和化学气相沉积法合成技术参数。
汪广进，余意，程凤，梁聪，徐甜，潘牧
武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
摘 要：综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法,主要包括溅射法(磁控溅射法和等离子体溅射法)、化学气相沉积法(等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法)和化学合成法(氨解法、原位热解法和氮化物氧化法)三大类,并总结了常用的溅射法和化学气相沉积法合成技术参数。
关键词：过渡金属氮氧化物;溅射法;化学气相沉积法;化学合成法;
