化学气相沉积法快速生长定向纳米碳管
来源期刊:新型炭材料2003年第1期
论文作者:余帆 丁冬雁 王健农 曹宗良 戴杰华
关键词:纳米碳管; 石墨; 催化剂; 化学气相沉积; Carbon nanotubes; Graphite; Catalyst; Chemical vapor deposition;
摘 要:利用化学气相沉积法,采用二甲苯为碳源,二茂铁为催化剂,氮气作保护气,在石英基底上催化裂解生长定向纳米碳管.试验结果表明:在775℃、120min的条件下,可生长出长达200μm厚的定向纳米碳管薄膜;在775℃,反应时间为60min~120min时,纳米碳管的长度为100μm~200μm,而纳米碳管的直径变化不明显.而无氢气、较高的反应温度和连续的催化剂供给对快速生长定向纳米碳管有着重要的影响.
余帆1,丁冬雁1,王健农1,曹宗良1,戴杰华1
(1.上海交通大学,材料科学与工程学院,上海,200030)
摘要:利用化学气相沉积法,采用二甲苯为碳源,二茂铁为催化剂,氮气作保护气,在石英基底上催化裂解生长定向纳米碳管.试验结果表明:在775℃、120min的条件下,可生长出长达200μm厚的定向纳米碳管薄膜;在775℃,反应时间为60min~120min时,纳米碳管的长度为100μm~200μm,而纳米碳管的直径变化不明显.而无氢气、较高的反应温度和连续的催化剂供给对快速生长定向纳米碳管有着重要的影响.
关键词:纳米碳管; 石墨; 催化剂; 化学气相沉积; Carbon nanotubes; Graphite; Catalyst; Chemical vapor deposition;
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