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半导体纳米薄膜热电性能表征技术的研究进展

来源期刊：材料导报2007年第3期

论文作者：朱文杨君友肖承京鲍思前段兴凯樊希安

关键词：纳米薄膜; 热电性能; 表征;

摘要：综述了半导体纳米薄膜热电性能表征的方法及相关的技术原理.从平行膜面和垂直膜面两方面对纳米薄膜材料热电性能3种重要参数的表征方法进行了描述;同时简要介绍了能直接测量热电优值的Harman方法的基本原理和操作过程.在此基础上指出了各方法的优缺点,并提出了今后开发检测装置需努力的方向.

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朱文¹，杨君友¹，肖承京¹，鲍思前¹，段兴凯¹，樊希安¹

(1.华中科技大学材料成型与模具技术国家重点实验室,武汉,430074)

摘要:综述了半导体纳米薄膜热电性能表征的方法及相关的技术原理.从平行膜面和垂直膜面两方面对纳米薄膜材料热电性能3种重要参数的表征方法进行了描述;同时简要介绍了能直接测量热电优值的Harman方法的基本原理和操作过程.在此基础上指出了各方法的优缺点,并提出了今后开发检测装置需努力的方向.

关键词:纳米薄膜; 热电性能; 表征;

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