新型高灵敏度GLV光学电流传感器设计与性能分析
来源期刊：功能材料与器件学报2009年第1期
论文作者：李四华 鲁亮 穆参军 吴亚明
关键词：光栅光阀(GLV); 光学电流传感器; 双端固支梁;
摘 要：本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器.这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范围宽等特点,且测量芯片制作工艺简单、成本低廉.通过有限元分析和数值计算对器件的模态、工作性能、热膨胀特性等进行了分析模拟,结果表明:测量芯片量程达500A～2000A,并可通过改变设计参数灵活调整;一阶固有频率接近60kHz,大电流下灵敏度接近0.2dB/A,外界温度变化±50K时传感器测试误差在0.7%以内.
李四华1，鲁亮1，穆参军1，吴亚明1
(1.中科院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;
2.中科院研究生院,北京,100039)
摘要:本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器.这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范围宽等特点,且测量芯片制作工艺简单、成本低廉.通过有限元分析和数值计算对器件的模态、工作性能、热膨胀特性等进行了分析模拟,结果表明:测量芯片量程达500A～2000A,并可通过改变设计参数灵活调整;一阶固有频率接近60kHz,大电流下灵敏度接近0.2dB/A,外界温度变化±50K时传感器测试误差在0.7%以内.
关键词:光栅光阀(GLV); 光学电流传感器; 双端固支梁;
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