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玻璃/铝多层结构间阳极键合机理及界面微观分析

来源期刊:兵器材料科学与工程2014年第6期

论文作者:秦会峰 孟庆森 胡利芳

文章页码:39 - 42

关键词:阳极键合;硼硅玻璃;铝;界面;

摘    要:采用阳极键合法对玻璃/铝多层结构层间连接进行试验,通过SEM、EDS分析玻璃/铝多层结构键合界面的显微组织。结果表明:对连接接头进行拉伸试验时,断裂发生在玻璃基体中,这表明键合界面的结合强度高于玻璃基体;界面由过渡层组成,且过渡层元素呈梯度分布,过渡区主要为Al2Si O5复合氧化物。分析认为键合界面处复合氧化物Al2Si O5的形成是实现玻璃/铝界面连接的主要原因。

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玻璃/铝多层结构间阳极键合机理及界面微观分析

秦会峰1,孟庆森2,胡利芳2

1. 山西机电职业技术学院材料工程系2. 太原理工大学材料科学与工程学院

摘 要:采用阳极键合法对玻璃/铝多层结构层间连接进行试验,通过SEM、EDS分析玻璃/铝多层结构键合界面的显微组织。结果表明:对连接接头进行拉伸试验时,断裂发生在玻璃基体中,这表明键合界面的结合强度高于玻璃基体;界面由过渡层组成,且过渡层元素呈梯度分布,过渡区主要为Al2Si O5复合氧化物。分析认为键合界面处复合氧化物Al2Si O5的形成是实现玻璃/铝界面连接的主要原因。

关键词:阳极键合;硼硅玻璃;铝;界面;

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