模板法制备半导体纳米阵列及其形态调控

来源期刊：合成材料老化与应用2015年第1期

论文作者：郦宇琦 刘彦平 钟文武

文章页码：55 - 58

关键词：胶体晶体模板;纳米阵列;氧化锌;二氧化钛;

摘    要：以聚苯乙烯单层胶体晶体为模板,分别采用溶液浸渍法和磁控溅射法制备Ti O2和Zn O二维纳米阵列。研究了前驱体浓度、溅射时间和溅射功率对纳米阵列形态的影响,研究发现随着前驱体浓度的降低,Ti O2纳米阵列的形貌由孔状变为环状。对于特定的Zn O孔状阵列,随着溅射功率的增大和溅射时间的延长,阵列的表面形貌也出现了明显的变化。结果表明,利用模板法制备的纳米阵列的形态可通过实验参数来进行调控。