空心阴极辅助多弧镀(Ti,Al)N涂层物相组成及性能
来源期刊：稀有金属材料与工程2016年第5期
论文作者：吴化 尤申申 姜颖
文章页码：1209 - 1214
关键词：离子束辅助沉积;(Ti,Al)N涂层;相组成;
摘 要：采用空心阴极离子束辅助多弧离子镀技术,通过变换靶材中Ti-Al比例（Al含量分别为30 at%、50 at%和70 at%）沉积了（Ti,Al）N涂层。利用XRD、激光共聚焦显微镜、材料表面微纳米力学测试系统等检测了涂层的质量和性能。研究了涂层的相组成、表面粗糙度、摩擦系数和硬度、以及涂层的耐高温性能等随靶材成分比例改变而变化的规律。结果表明,当靶材中Al含量为50 at%时,沉积层相组成以Ti1-xAlxN为主,涂层粗糙度和摩擦系数最小,分别为0.3188和0.6074,而硬度值最高,为34.19 GPa;加热温度低于800℃时涂层物相组成没有发生明显变化,900℃时涂层产生开裂基体被氧化;空心阴极离子束辅助沉积时能够形成"混合界面",并减轻涂层表面"大颗粒"现象。
吴化，尤申申，姜颖
长春工业大学先进结构材料省部共建教育部重点实验室
摘 要：采用空心阴极离子束辅助多弧离子镀技术,通过变换靶材中Ti-Al比例（Al含量分别为30 at%、50 at%和70 at%）沉积了（Ti,Al）N涂层。利用XRD、激光共聚焦显微镜、材料表面微纳米力学测试系统等检测了涂层的质量和性能。研究了涂层的相组成、表面粗糙度、摩擦系数和硬度、以及涂层的耐高温性能等随靶材成分比例改变而变化的规律。结果表明,当靶材中Al含量为50 at%时,沉积层相组成以Ti1-xAlxN为主,涂层粗糙度和摩擦系数最小,分别为0.3188和0.6074,而硬度值最高,为34.19 GPa;加热温度低于800℃时涂层物相组成没有发生明显变化,900℃时涂层产生开裂基体被氧化;空心阴极离子束辅助沉积时能够形成"混合界面",并减轻涂层表面"大颗粒"现象。
关键词：离子束辅助沉积;(Ti,Al)N涂层;相组成;
