直流等离子体CVD金刚石薄膜微观结构分析
来源期刊：稀有金属材料与工程2007年第4期
论文作者：王珉 左敦稳 赵礼刚 李多生 相炳坤 陈荣发
关键词：化学气相沉积; 直流等离子体; 金刚石膜; 微观结构;
摘 要：采用直流等离子体CVD法制备了金刚石膜,利用X射线衍射、光学显微镜、扫描电镜、激光拉曼光谱等技术研究了金刚石膜的微观组织,晶粒择优取向生长过程.结果表明:开始形核时,晶粒随机无择优生长;对基体表面氢刻蚀预处理,有利于晶胚形核长大.甲烷浓度对金刚石膜晶粒择优取向生长有重要影响:甲烷浓度较低时,金刚石膜(100)面择优生长,形成以(111)为主的八面体晶体,并且可以制取中心和边缘均匀、高质量光学级自支撑金刚石膜,但生长速率慢,效率低.同时也发现金刚石膜存在空位、孔洞等缺陷.
王珉1，左敦稳1，赵礼刚1，李多生1，相炳坤1，陈荣发1
(1.南京航空航天大学,江苏,南京,210016;
2.南昌航空工业学院,江西,南昌,330034)
摘要:采用直流等离子体CVD法制备了金刚石膜,利用X射线衍射、光学显微镜、扫描电镜、激光拉曼光谱等技术研究了金刚石膜的微观组织,晶粒择优取向生长过程.结果表明:开始形核时,晶粒随机无择优生长;对基体表面氢刻蚀预处理,有利于晶胚形核长大.甲烷浓度对金刚石膜晶粒择优取向生长有重要影响:甲烷浓度较低时,金刚石膜(100)面择优生长,形成以(111)为主的八面体晶体,并且可以制取中心和边缘均匀、高质量光学级自支撑金刚石膜,但生长速率慢,效率低.同时也发现金刚石膜存在空位、孔洞等缺陷.
关键词:化学气相沉积; 直流等离子体; 金刚石膜; 微观结构;
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