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钛酸铋基铁电薄膜研究进展

来源期刊:功能材料2006年第3期

论文作者:杨卫明 李智华 杨斌 郑朝丹 王耘波 张端明 高俊雄 郭冬云 王龙海 吴云翼 魏念 于军

关键词:钛酸铋; 铁电薄膜; 制备工艺; 掺杂改性; 疲劳;

摘    要:钛酸铋基铁电薄膜具有优良的铁电、介电性能,在非挥发性存储器件方面有很好的应用前景.本文分别从制备工艺、掺杂改性、疲劳特性的研究等方面综述了最新的研究进展,并对当前研究中存在的问题进行了讨论.

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钛酸铋基铁电薄膜研究进展

杨卫明1,李智华2,杨斌2,郑朝丹2,王耘波1,张端明2,高俊雄1,郭冬云1,王龙海1,吴云翼2,魏念2,于军1

(1.华中科技大学,电子科学和技术系,湖北,武汉,430074;
2.华中科技大学,物理系,湖北,武汉,430074)

摘要:钛酸铋基铁电薄膜具有优良的铁电、介电性能,在非挥发性存储器件方面有很好的应用前景.本文分别从制备工艺、掺杂改性、疲劳特性的研究等方面综述了最新的研究进展,并对当前研究中存在的问题进行了讨论.

关键词:钛酸铋; 铁电薄膜; 制备工艺; 掺杂改性; 疲劳;

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