MOVPE:高速发展的光电子材料技术
来源期刊:世界有色金属1998年第2期
论文作者:李玉增
文章页码:3 - 5
关键词:光电子材料;MOVPE技术;应用;发展;
摘 要:文章综述了光电子材料技术的发展梗概,通过对比分析,从发展趋势上论述了MOVPE法在生产光电子技术功能材料方面的进展。尤其进入90年代中期以来,MOVPE法的应用领域拓宽,发展速度加快,对未来光电子技术功能材料的发展具有不可替代的作用。
李玉增
北京有色金属研究总院
摘 要:文章综述了光电子材料技术的发展梗概,通过对比分析,从发展趋势上论述了MOVPE法在生产光电子技术功能材料方面的进展。尤其进入90年代中期以来,MOVPE法的应用领域拓宽,发展速度加快,对未来光电子技术功能材料的发展具有不可替代的作用。
关键词:光电子材料;MOVPE技术;应用;发展;