超低压ITO基壳聚糖电解质纸张薄膜晶体管的制备
来源期刊：材料导报2013年第18期
论文作者：刘欣 赵娟 赵孔胜 刘全慧
文章页码：9 - 38
关键词：纸张薄膜晶体管;超低压;ITO;壳聚糖;双电层效应;
摘 要：采用一步掩膜法通过射频磁控溅射设备同时制备源极、漏极以及沟道层,采用具有双电荷层效应的壳聚糖薄膜为栅介质,成功制备出以纸张为衬底的超低压薄膜晶体管。这种柔性衬底薄膜晶体管具有良好的电学性能:超低的工作电压(仅为0.8V),场效应迁移率达到8.1cm2/(V·s),亚阈值斜率为80mV/decade,开关电流比高达1.2×107。
刘欣，赵娟，赵孔胜，刘全慧
湖南大学物理与微电子科学学院
摘 要：采用一步掩膜法通过射频磁控溅射设备同时制备源极、漏极以及沟道层,采用具有双电荷层效应的壳聚糖薄膜为栅介质,成功制备出以纸张为衬底的超低压薄膜晶体管。这种柔性衬底薄膜晶体管具有良好的电学性能:超低的工作电压(仅为0.8V),场效应迁移率达到8.1cm2/(V·s),亚阈值斜率为80mV/decade,开关电流比高达1.2×107。
关键词：纸张薄膜晶体管;超低压;ITO;壳聚糖;双电层效应;
