超硬薄膜β-C3N4的制备和表征
来源期刊：功能材料2000年第2期
论文作者：时东霞 田中卓 袁磊 常香荣 顾有松 张永平 张秀芳
关键词：β-C3N4; 超硬薄膜; 磁波等离子体化学气相沉积;
摘 要：本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法,用高纯氮气(99.999%)和甲烷(99.9%)作反应气体,在单晶硅和多晶铂基片上沉积βC3N4薄膜.X射线能谱(EDX)分析了这种晶态C-N膜的化学成分,对不同样品的分析结果表明,N/C原子比在1.1～2.0范围内.X射线衍射结构分析结果与计导的α-和β-C3N4单相X射线的峰位和强度相比较,说明它是α-和β-C3N4的混合物.FT一IR和Raman谱支持C-N共价键的存在.薄膜的体弹性模量达到349GPa.
时东霞1，田中卓2，袁磊1，常香荣2，顾有松2，张永平2，张秀芳1
(1.中国科学院北京真空物理实验室,北京,100080;
2.北京科技大学材料物理系 北京100083)
摘要:本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法,用高纯氮气(99.999%)和甲烷(99.9%)作反应气体,在单晶硅和多晶铂基片上沉积βC3N4薄膜.X射线能谱(EDX)分析了这种晶态C-N膜的化学成分,对不同样品的分析结果表明,N/C原子比在1.1～2.0范围内.X射线衍射结构分析结果与计导的α-和β-C3N4单相X射线的峰位和强度相比较,说明它是α-和β-C3N4的混合物.FT一IR和Raman谱支持C-N共价键的存在.薄膜的体弹性模量达到349GPa.
关键词:β-C3N4; 超硬薄膜; 磁波等离子体化学气相沉积;
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