钛表面纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能
来源期刊：稀有金属材料与工程2013年第6期
论文作者：赵勇 华云峰 王彦峰 李争显
文章页码：1165 - 1168
关键词：纳米复合Si-C-N超硬薄膜;显微结构;断裂韧性;摩擦系数;耐蚀性能;
摘 要：采用电弧增强磁控溅射（AEMS）技术在钛表面制备纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究薄膜的显微结构、相组成、硬度、韧性、摩擦学行为和耐蚀性能。结果表明,薄膜形成了C–C、C=C、N–C以及Si–C非晶复合组织结构。薄膜的硬度为（38.2±4.1）GPa,断裂韧性为（3.68±0.32）MPa·m1/2。薄膜的摩擦系数为0.23左右,具有良好的抗摩擦磨损能力。沉积Si-C-N薄膜的TA2试样在25℃、3.5%NaCl水溶液中的腐蚀速率为0.000125mm·a-1,是纯TA2的12.5%,具有良好的耐蚀性能。
赵勇1，华云峰2，王彦峰2，李争显2
1. 长安大学道路施工技术与装备教育部重点实验室2. 西北有色金属研究院
摘 要：采用电弧增强磁控溅射（AEMS）技术在钛表面制备纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究薄膜的显微结构、相组成、硬度、韧性、摩擦学行为和耐蚀性能。结果表明,薄膜形成了C–C、C=C、N–C以及Si–C非晶复合组织结构。薄膜的硬度为（38.2±4.1）GPa,断裂韧性为（3.68±0.32）MPa·m1/2。薄膜的摩擦系数为0.23左右,具有良好的抗摩擦磨损能力。沉积Si-C-N薄膜的TA2试样在25℃、3.5%NaCl水溶液中的腐蚀速率为0.000125mm·a-1,是纯TA2的12.5%,具有良好的耐蚀性能。
关键词：纳米复合Si-C-N超硬薄膜;显微结构;断裂韧性;摩擦系数;耐蚀性能;
