化学气相沉积金刚石薄膜的摩擦学性能研究进展
来源期刊:材料科学与工程学报2003年第1期
论文作者:陈建敏 胡丽天 李红轩
关键词:化学气相沉积; 金刚石薄膜; 摩擦学性能;
摘 要:介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要方法,着重讨论了金刚石薄膜的摩擦学性能研究,简要分析了化学气相沉积金刚石薄膜中存在的问题.
陈建敏1,胡丽天1,李红轩1
(1.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000)
摘要:介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要方法,着重讨论了金刚石薄膜的摩擦学性能研究,简要分析了化学气相沉积金刚石薄膜中存在的问题.
关键词:化学气相沉积; 金刚石薄膜; 摩擦学性能;
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