直拉硅单晶生产技术的新成就和发展方向
来源期刊：中国有色冶金1984年第5期
论文作者：G.菲格勒 范继仲
文章页码：35 - 64
摘 要：<正> 用于微电子工业的单晶硅,其基本生产流程,三十多年来几乎没有变化。五十年代初期,在迅速发展的半导体工业中,直拉法(CZ)拉晶起着主导作用,它与区熔法相比,工艺简单,可获得完美性好的晶体。基于经济效益考虑,三十年中一直致力于增大晶体直径和增大装料量的研究。直到六十年代初装料量仍很小。当时将感应加热改为电
G.菲格勒，范继仲
摘 要：<正> 用于微电子工业的单晶硅,其基本生产流程,三十多年来几乎没有变化。五十年代初期,在迅速发展的半导体工业中,直拉法(CZ)拉晶起着主导作用,它与区熔法相比,工艺简单,可获得完美性好的晶体。基于经济效益考虑,三十年中一直致力于增大晶体直径和增大装料量的研究。直到六十年代初装料量仍很小。当时将感应加热改为电
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