层厚比对磁控溅射Cr/CrN多层涂层组织和性能的影响
来源期刊：材料工程2014年第11期
论文作者：谈淑咏 吴湘君 张旭海 张炎 蒋建清 朱雪锋 江先彪
文章页码：28 - 33
关键词：Cr/CrN多层涂层;层厚比;硬度;磨损率;
摘 要：在超高真空磁控溅射仪上,制备了一系列具有相同调制周期不同层厚比的Cr/CrN涂层。用X射线衍射仪分析了涂层的相组成,通过扫描电镜观察了涂层形貌,采用显微硬度计测试了涂层硬度,在划痕仪上确定涂层和基体间的结合力,并利用磨损仪测量涂层的摩擦磨损性能。结果表明:调制周期为400nm时,当层厚比由2.0减小到0.2,Cr/CrN多层涂层始终由Cr和CrN两相组成,涂层择优取向为CrN（200）,且涂层变得愈加致密,硬度从1550HV增大到2300HV,磨损率从2.4×10-8 mm3·N-1·m-1减小为0.6×10-8 mm3·N-1·m-1,涂层和基体结合性能优良。
谈淑咏1,2，吴湘君3，张旭海3，张炎1,2，蒋建清3，朱雪锋2，江先彪2
2. 南京工程学院材料工程学院3. 东南大学材料科学与工程学院
摘 要：在超高真空磁控溅射仪上,制备了一系列具有相同调制周期不同层厚比的Cr/CrN涂层。用X射线衍射仪分析了涂层的相组成,通过扫描电镜观察了涂层形貌,采用显微硬度计测试了涂层硬度,在划痕仪上确定涂层和基体间的结合力,并利用磨损仪测量涂层的摩擦磨损性能。结果表明:调制周期为400nm时,当层厚比由2.0减小到0.2,Cr/CrN多层涂层始终由Cr和CrN两相组成,涂层择优取向为CrN（200）,且涂层变得愈加致密,硬度从1550HV增大到2300HV,磨损率从2.4×10-8 mm3·N-1·m-1减小为0.6×10-8 mm3·N-1·m-1,涂层和基体结合性能优良。
关键词：Cr/CrN多层涂层;层厚比;硬度;磨损率;
