Sm掺杂核-壳结构介孔SiO2@CeO2复合颗粒的制备和抛光性能
来源期刊：复合材料学报2020年第4期
论文作者：陈爱莲 王婉莹 马翔宇 蔡文杰 陈杨
文章页码：919 - 926
关键词：CeO2;掺杂;复合磨粒;核-壳结构;抛光;
摘 要：在低模量介孔SiO2（Mesoporous silica, mSiO2）微球表面负载Sm掺杂CeO2纳米粒子,制备了具有均匀完整核-壳结构的非刚性mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0, 0.23）复合颗粒。借助XRD、 SEM、 HRTEM、 STEM-EDX Mapping、 Raman光谱和N2吸-脱附等技术对产物进行结构表征,利用AFM和三维光学轮廓仪评价Sm元素掺杂处理对mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0, 0.23）复合颗粒抛光效果的影响。讨论了Sm掺杂复合磨粒的高效无损超精密抛光机制。结果表明:掺杂处理可使mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0, 0.23）复合颗粒的抛光效率提高近36%,达到84 nm/min,同时获得具有原子量级精度的加工表面,抛光后SiO2薄膜的粗糙度平均值和均方根分别为0.14和0.17 nm。
陈爱莲1,2，王婉莹3，马翔宇3，蔡文杰3，陈杨3
1. 常州大学机械工程学院2. 常州大学江苏省绿色过程装备重点实验室3. 常州大学材料科学与工程学院
摘 要：在低模量介孔SiO2（Mesoporous silica, mSiO2）微球表面负载Sm掺杂CeO2纳米粒子,制备了具有均匀完整核-壳结构的非刚性mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0, 0.23）复合颗粒。借助XRD、 SEM、 HRTEM、 STEM-EDX Mapping、 Raman光谱和N2吸-脱附等技术对产物进行结构表征,利用AFM和三维光学轮廓仪评价Sm元素掺杂处理对mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0, 0.23）复合颗粒抛光效果的影响。讨论了Sm掺杂复合磨粒的高效无损超精密抛光机制。结果表明:掺杂处理可使mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0, 0.23）复合颗粒的抛光效率提高近36%,达到84 nm/min,同时获得具有原子量级精度的加工表面,抛光后SiO2薄膜的粗糙度平均值和均方根分别为0.14和0.17 nm。
关键词：CeO2;掺杂;复合磨粒;核-壳结构;抛光;
