微弧氧化法制备BaTiO3薄膜的微观结构分析
来源期刊：材料开发与应用2007年第2期
论文作者：李文芳 韩冰 彭继华
关键词：微弧氧化; 铁电薄膜; BaTiO3; TEM;
摘 要：利用X射线衍射仪、透射电镜和能谱仪(EDS)等对采用微弧氧化技术在钛衬底上制备的钛酸钡铁电薄膜的微观结构进行了分析.结果表明,Ba(OH)2浓度为0.2mol/L、电流密度为5A/cm2、电源频率为250Hz、微弧氧化时间为30min制备的薄膜以六方相、四方相的BaTiO3和非晶相为主;经过1200℃退火8h后,薄膜中的BaTiO3以四方相为主,非晶相消失,但部分六方相仍然保留.
李文芳1，韩冰1，彭继华1
(1.华南理工大学机械工程学院,广东,广州,510640)
摘要:利用X射线衍射仪、透射电镜和能谱仪(EDS)等对采用微弧氧化技术在钛衬底上制备的钛酸钡铁电薄膜的微观结构进行了分析.结果表明,Ba(OH)2浓度为0.2mol/L、电流密度为5A/cm2、电源频率为250Hz、微弧氧化时间为30min制备的薄膜以六方相、四方相的BaTiO3和非晶相为主;经过1200℃退火8h后,薄膜中的BaTiO3以四方相为主,非晶相消失,但部分六方相仍然保留.
关键词:微弧氧化; 铁电薄膜; BaTiO3; TEM;
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