微弧氧化SrTiO3铁电薄膜的微观结构及性能
来源期刊：材料热处理学报2014年第6期
论文作者：王敏 李文芳 张果戈
文章页码：175 - 179
关键词：微弧氧化;SrTiO3;铁电薄膜;介电性能;
摘 要：以0.2 mol/L Sr（OH）2+0.2 mol/L NaOH溶液为电解液,工艺参数分别设置为电流密度2 A/cm2、电流频率100 Hz、反应时间30 min及占空比85%,采用微弧氧化法在工业纯Ti板（99.5%）表面原位生长SrTiO3薄膜,并对薄膜的物相组成,元素分布情况及薄膜介电、铁电性能进行表征。结果表明:所得薄膜主要由四方相SrTiO3构成。薄膜介电常数随频率升高而降低,其在1 kHz条件下的介电常数为317。薄膜中除Sr、Ti、O元素外,还存在Na元素,且Na元素在薄膜与基体结合处出现富集,元素分布的微小波动可能是由微弧氧化孔洞造成。
王敏1，李文芳2，张果戈2
1. 广东技术师范学院机电学院2. 华南理工大学材料科学与工程学院
摘 要：以0.2 mol/L Sr（OH）2+0.2 mol/L NaOH溶液为电解液,工艺参数分别设置为电流密度2 A/cm2、电流频率100 Hz、反应时间30 min及占空比85%,采用微弧氧化法在工业纯Ti板（99.5%）表面原位生长SrTiO3薄膜,并对薄膜的物相组成,元素分布情况及薄膜介电、铁电性能进行表征。结果表明:所得薄膜主要由四方相SrTiO3构成。薄膜介电常数随频率升高而降低,其在1 kHz条件下的介电常数为317。薄膜中除Sr、Ti、O元素外,还存在Na元素,且Na元素在薄膜与基体结合处出现富集,元素分布的微小波动可能是由微弧氧化孔洞造成。
关键词：微弧氧化;SrTiO3;铁电薄膜;介电性能;
