多晶硅还原炉装备发展展望
来源期刊：有色设备2020年第1期
论文作者：石何武 汪绍芬 郑红梅 严大洲
文章页码：1 - 32
关键词：还原炉;节能降耗;多晶硅;装备;
摘 要：基于改良西门子多晶硅生产工艺技术的关键设备众多,因此研究各类关键设备的特性是一件非常有意义的事情;还原炉作为最终产品的关键生产设备,其性能的好坏对多晶硅的生产有着举足轻重的作用,还原炉的大小、结构形式、材质等直接决定了多晶硅产品的品质、能耗等关键生产参数,因此本文就还原炉的特性进行分析,展望未来多晶硅还原炉的发展,旨在帮助各生产企业根据自身的发展需求选择合适的还原炉炉型。
石何武，汪绍芬，郑红梅，严大洲
中国恩菲工程技术有限公司
摘 要：基于改良西门子多晶硅生产工艺技术的关键设备众多,因此研究各类关键设备的特性是一件非常有意义的事情;还原炉作为最终产品的关键生产设备,其性能的好坏对多晶硅的生产有着举足轻重的作用,还原炉的大小、结构形式、材质等直接决定了多晶硅产品的品质、能耗等关键生产参数,因此本文就还原炉的特性进行分析,展望未来多晶硅还原炉的发展,旨在帮助各生产企业根据自身的发展需求选择合适的还原炉炉型。
关键词：还原炉;节能降耗;多晶硅;装备;
