铀表面钛膜在真空升温过程中对残余气氛的吸附行为

陆雷¹，杨江荣¹，吕学超¹，白彬¹，鲜晓斌¹，肖红¹

(1.中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900)

摘要:用磁控溅射镀膜技术在铀表面制备了钛膜防腐蚀层.用俄歇电子能谱仪(AES)研究了在超高真空室中铀表面钛膜从室温加热到400℃过程中表面化学结构的变化,同时对比分析了钛板试样的结构变化.最后分析了TiO2对铀表面钛膜吸附残余气氛的影响.结果表明,钛膜表面吸附了大量的含碳气体并使之分解而形成TiC.加热方式影响钛膜对含碳气体的吸附行为.钛膜表面形成TiO2后可显著降低对含碳气体的吸附能力.

关键词:钛膜; 吸附; 残余气氛; 铀;

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