用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜
来源期刊：功能材料2001年第1期
论文作者：黄继颇 李伟群 刘彦松 林成鲁 王连卫
关键词：脉冲激光淀积; 氧化锌; 压电性; 声表面波;
摘 要：采用脉冲激光淀积(PLD)法在单晶Si(100)衬底上淀积了ZnO薄膜.XRD、TEM和AFM分析表明,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度.通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火,ZnO薄膜的电阻率提高到107Ω@cm.这些结果表明,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW)器件的需要.
黄继颇1，李伟群2，刘彦松1，林成鲁1，王连卫1
(1.中国科学院上海冶金研究所,;
2.中国科学院上海硅酸盐研究所,)
摘要:采用脉冲激光淀积(PLD)法在单晶Si(100)衬底上淀积了ZnO薄膜.XRD、TEM和AFM分析表明,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度.通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火,ZnO薄膜的电阻率提高到107Ω@cm.这些结果表明,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW)器件的需要.
关键词:脉冲激光淀积; 氧化锌; 压电性; 声表面波;
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