WC-Co硬质合金基体上高附着力金刚石薄膜的制备
来源期刊：无机材料学报2005年第1期
论文作者：张兵临 杨仕娥 樊志琴 鲁占灵 姚宁
关键词：金刚石薄膜; 中间层; 形核密度; 附着力;
摘 要：采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)法在WC-Co硬质合金基体上制备金刚石膜,研究了TiNx中间层的引入对金刚石薄膜质量及其附着性能的影响.结果表明,在酸浸蚀脱钴处理的基础上,通过预沉积氮含量呈梯度变化的TiNx中间过渡层,可在硬质合金基体上制备出高质量的金刚石薄膜;压痕法测试其临界载荷达1000N.
张兵临1，杨仕娥1，樊志琴1，鲁占灵1，姚宁1
(1.郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052)
摘要:采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)法在WC-Co硬质合金基体上制备金刚石膜,研究了TiNx中间层的引入对金刚石薄膜质量及其附着性能的影响.结果表明,在酸浸蚀脱钴处理的基础上,通过预沉积氮含量呈梯度变化的TiNx中间过渡层,可在硬质合金基体上制备出高质量的金刚石薄膜;压痕法测试其临界载荷达1000N.
关键词:金刚石薄膜; 中间层; 形核密度; 附着力;
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