PCB钻头上金刚石涂层的制备

满卫东¹，谢鹏¹，李远¹，王传新¹，王升高¹，汪建华¹

(1.武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430073)

摘要:本文在直径为0.8mm硬质合金钻头上进行沉积金刚石涂层的研究.在沉积之前,先用硝酸和铁氰化钾进行腐蚀处理,以去除表面的Co.用微波等离子体CVD设备进行金刚石的沉积.在金刚石涂层沉积过程中,钻头尖端在微波电磁场中产生辉光放电现象,导致钻头尖端刃部很难获得金刚石涂层.通过使用金属丝屏蔽的方法改变钻头周围的微波电磁场分布,成功的采用微波等离子体CVD法在钻头上沉积出了金刚石涂层.用扫描电子显微镜(SEM),能量色散谱仪(EDS)和激光拉曼光谱(Raman)对钻头的表面形貌和金刚石薄膜的质量进行了表征,同时在铝基复合材料上进行了钻孔测试.结果表明金刚石薄膜表面比较光滑,晶粒尺寸较小,涂层质量良好,薄膜的附着力也较高.

关键词:金刚石涂层; PCB钻头; 微波等离子体化学气相沉积; 硬质合金;

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