一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用
来源期刊：功能材料与器件学报2010年第2期
论文作者：赵建龙 许宝建 徐元森 程建功 金庆辉 朱德峰
关键词：QCM; SU-8; PDMS; 混合; 谐振; QCM; SU-8; PDMS; mixing; resonance;
摘 要：生物定量检测中,生物样品是否均匀混合的研究意义重要.石英晶体微质量天平(QCM)因其振幅谐振机理,而具备优异的超声混合性能.本文结合微电子机械系统(MEMS)工艺,利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法,制备了尺寸可控、表面平整、结合紧密的SU-8芯片主体结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)封装获得完整的液相混合微芯片,最后利用罗丹明B荧光染料和SiO2纳米球对芯片的混合性能进行了表征.同时,本文提供了一种小体积、便捷、通用性好的液相混合微芯片的制备方法.
赵建龙1，许宝建2，徐元森1，程建功1，金庆辉1，朱德峰1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;
2.香港理工大学,医疗科技及资讯学系,香港;
3.中国科学院研究生院,北京,100039)
摘要:生物定量检测中,生物样品是否均匀混合的研究意义重要.石英晶体微质量天平(QCM)因其振幅谐振机理,而具备优异的超声混合性能.本文结合微电子机械系统(MEMS)工艺,利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法,制备了尺寸可控、表面平整、结合紧密的SU-8芯片主体结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)封装获得完整的液相混合微芯片,最后利用罗丹明B荧光染料和SiO2纳米球对芯片的混合性能进行了表征.同时,本文提供了一种小体积、便捷、通用性好的液相混合微芯片的制备方法.
关键词:QCM; SU-8; PDMS; 混合; 谐振; QCM; SU-8; PDMS; mixing; resonance;
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