一种硅微振动角速度传感器
来源期刊：功能材料与器件学报2002年第2期
论文作者：苏岩 王寿荣 杨拥军 周百令
关键词：角速度传感器; 静电驱动; 电容检测;
摘 要：介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果.实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能,其灵敏度为:3.2mV/(o@s-1);量程为:±500o/s;线性度:1%.
苏岩1，王寿荣1，杨拥军2，周百令1
(1.东南大学仪器科学与工程系,南京210096;
2.河北半导体研究所,石家庄050051)
摘要:介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果.实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能,其灵敏度为:3.2mV/(o@s-1);量程为:±500o/s;线性度:1%.
关键词:角速度传感器; 静电驱动; 电容检测;
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