圆柱形衬底金刚石涂层的制备与表征研究

来源期刊：超硬材料工程2009年第6期

论文作者：张东灿 沈彬 孙方宏 彭东辉

文章页码：17 - 21

关键词：金刚石薄膜;复合预处理方法;表面粗糙度;附着力;涂层;

摘    要：采用偏压增强热丝化学气相沉积法（BE-HFCVD）,以WC-Co硬质合金圆柱体为衬底沉积金刚石薄膜。研究了提高金刚石薄膜形核密度和涂层附着力的新型复合衬底预处理方法,研究结果表明,采用新型复合衬底预处理工艺后,衬底表面凸凹不平,粗糙度达到366nm,相比未采用预处理工艺的表面粗糙度94.5nm,可以大大提高金刚石形核密度,并且处理后钴的成分含量从6%减低到0.4%,在很大程度上提高了金刚石涂层与衬底之间的附着强度。研究结果还表明制备的金刚石涂层均匀且具有较好的表面质量。