微波等离子体刻蚀处理对金刚石薄膜涂层刀具附着力和切削性能的影响
来源期刊：功能材料与器件学报2001年第3期
论文作者：沈荷生 孙方宏 张志明 陈明
关键词：CVD金刚石薄膜; 微波等离子体; 附着力; 切削性能;
摘 要：用HFCVD法在硬质合金（YG6）刀具衬底上沉积金刚石薄膜，用氢微波等离子体刻蚀的方法对衬底进行表面预处理，研究了该预处理技术对WC硬质合金衬底表面成分的影响。进一步探讨了所沉积金刚石薄膜的表面形貌和附着力，并通过难加工材料实际切削试验，研究了所制备的金刚石薄膜涂层刀具的切削性能。试验结果表明，Ar－H2微波等离子体刻蚀脱碳处理是提高金刚石薄膜附着力和改善涂层刀具切削性能的有效预处理方法。
沈荷生1，孙方宏2，张志明1，陈明2
(1.上海交通大学微电子所 ,;
2.上海交通大学机械工程学院 ,)
摘要:用HFCVD法在硬质合金（YG6）刀具衬底上沉积金刚石薄膜，用氢微波等离子体刻蚀的方法对衬底进行表面预处理，研究了该预处理技术对WC硬质合金衬底表面成分的影响。进一步探讨了所沉积金刚石薄膜的表面形貌和附着力，并通过难加工材料实际切削试验，研究了所制备的金刚石薄膜涂层刀具的切削性能。试验结果表明，Ar－H2微波等离子体刻蚀脱碳处理是提高金刚石薄膜附着力和改善涂层刀具切削性能的有效预处理方法。
关键词:CVD金刚石薄膜; 微波等离子体; 附着力; 切削性能;
【全文内容正在添加中】
