常压化学气相沉积SiO2涂层的制备及其性能研究
来源期刊：腐蚀科学与防护技术2010年第2期
论文作者：马良 黄志荣 罗小秋 钱瑜明
文章页码：113 - 116
关键词：常压化学气相沉积法(APCVD);SiO2涂层;HP40钢;粘结强度;
摘 要：以正硅酸乙酯（TEOS）为源物质,空气为载气和稀释气,采用常压化学气相沉积法（APCVD）在HP40钢表面制备了SiO2涂层.采用光学显微镜、扫描电子显微镜、能量色散能谱仪、D\MAX-C型X射线衍射仪、显微硬度仪等,研究了SiO2涂层的组织结构、表面形貌、物相组成和显微硬度;并用热震实验法和剥离实验法研究了涂层与HP40基体的结合强度.结果表明,所制备的SiO2涂层厚度约为1μm,由细小颗粒组成,颗粒比较均匀、大部分颗粒的粒径均在1μm以下;涂层无明显孔隙,与基体的结合强度较高;其显微硬度明显高于HP40基体.
马良，黄志荣，罗小秋，钱瑜明
华东理工大学机械与动力工程学院
摘 要：以正硅酸乙酯（TEOS）为源物质,空气为载气和稀释气,采用常压化学气相沉积法（APCVD）在HP40钢表面制备了SiO2涂层.采用光学显微镜、扫描电子显微镜、能量色散能谱仪、D\MAX-C型X射线衍射仪、显微硬度仪等,研究了SiO2涂层的组织结构、表面形貌、物相组成和显微硬度;并用热震实验法和剥离实验法研究了涂层与HP40基体的结合强度.结果表明,所制备的SiO2涂层厚度约为1μm,由细小颗粒组成,颗粒比较均匀、大部分颗粒的粒径均在1μm以下;涂层无明显孔隙,与基体的结合强度较高;其显微硬度明显高于HP40基体.
关键词：常压化学气相沉积法(APCVD);SiO2涂层;HP40钢;粘结强度;
