Cu靶功率和衬底温度对Cu-SiO₂纳米复合膜的相结构与光吸收性能影响

来源期刊：稀有金属材料与工程2015年第10期

论文作者：赵志明 邢少敏 张国君 白力静

文章页码：2539 - 2543

关键词：Cu-SiO2纳米复合膜;磁控溅射;相结构;光吸收性能;

摘    要：实验利用直流和射频磁控溅射方法交替沉积Cu-SiO2纳米复合膜,研究不同Cu靶功率和衬底温度对纳米复合膜的相结构和光吸收性能的影响。结果表明:随着Cu靶功率的增加,金属Cu纳米颗粒尺寸增大,导致光吸收峰峰位发生红移;随着衬底温度的升高,由于Cu再蒸发效应致使金属Cu纳米颗粒尺寸减小,引起光吸收峰峰位发生蓝移;与室温下沉积态Cu-SiO2纳米复合膜相比,在衬底加热条件下沉积的纳米复合膜在可见光波段出现了明显的表面等离子体共振吸收峰。因此,Cu靶功率和衬底温度对Cu-SiO2纳米复合薄膜的结晶状况和光吸收性能有显著影响。