硫化时间对固态硫化铜锌锡硫薄膜性能的影响

来源期刊：材料工程2016年第9期

论文作者：曹中明 杨元政 许佳雄 谢致薇

文章页码：63 - 67

关键词：磁控溅射;铜锌锡硫薄膜;固态硫化;硫化时间;

摘    要：采用固态硫化法硫化铜锡锌（CZT）预制膜制备铜锌锡硫（Cu₂ZnSnS₄,CZTS）薄膜,研究硫化时间对CZTS薄膜性能的影响。利用X射线衍射仪（XRD）和紫外拉曼光谱仪（Raman）分析薄膜的物相结构,通过X射线能谱仪（EDS）分析薄膜的化学组分,采用扫描电镜（SEM）观察薄膜的表面形貌,利用UV-Vis研究薄膜的光学特性。结果表明:随着硫化时间延长,Cu含量增加,Zn含量明显减少。硫化40min以上制备的薄膜出现导致禁带宽度减小的杂相SnS,Sn2S3和Cu₂SnS₃。当硫化时间为20min时,样品为单相的CZTS薄膜,薄膜表面均匀平整,化学组分贫Cu富Sn,吸收系数达104cm-1,禁带宽度Eg约为1.56eV。