KDP晶体表面残留颗粒的机器视觉检测方法研究

来源期刊：机械设计与制造2014年第12期

论文作者：关利超 丁杰雄 褚博文 赵旭东

文章页码：190 - 193

关键词：KDP晶体;颗粒检测;机器视觉;图像处理;

摘    要：KDP晶体是一种优质的非线性光学材料,广泛应用于激光核聚变等军工、国防领域。KDP晶体材质特殊,需采用超精密加工技术进行加工,加工过程中的杂质和抛光清洗液中的纳米级羰基颗粒容易吸附在其表面,对其光学特性影响很大。采用机器视觉技术检测晶体抛光清洗后表面残留颗粒,使用光学显微镜获取表面微观图像,经过图像存储、图像增强、边缘检测和图像分割等操作,将残留颗粒特征提取出来,然后进行图像标定、图像测量得到残留颗粒分布状态,对于评价KDP晶体清洗结果、指导清洗过程和保证晶体表面质量有重要作用。