高精度激光板凸度检测技术
来源期刊：有色设备2004年第S1期
论文作者：谭建平 周俊峰
文章页码：60 - 73
关键词：板凸度;检测;激光三角法;高精度;
摘 要：板厚度、板凸度是衡量板材质量的重要指标,激光板凸度检测系统的核心技术是基于差动激光三角法的扫描式高精度厚度检测系统。本文介绍该系统的组成和功能,着重分析该系统设计过程中的关键技术。通过实际应用表明,本系统的检测精度达到±1um。
谭建平，周俊峰
中南大学
摘 要：板厚度、板凸度是衡量板材质量的重要指标,激光板凸度检测系统的核心技术是基于差动激光三角法的扫描式高精度厚度检测系统。本文介绍该系统的组成和功能,着重分析该系统设计过程中的关键技术。通过实际应用表明,本系统的检测精度达到±1um。
关键词：板凸度;检测;激光三角法;高精度;
