低温喷雾热解制备ZnO薄膜的研究现状及进展

王祺^1,2，程江²，王睿璇²，崔丽莎²，谢州²，龙章文²，谭显银²，张洪涛²

1. 重庆理工大学材料科学与工程学院2. 重庆文理学院新材料技术研究院

摘 要：低温喷雾热解(Low temperature spray pyrolysis,LTSP)制备ZnO薄膜具有低成本、可大面积制膜的优点,符合卷对卷生产技术要求,在柔性触摸显示、有机电致发光(OLED)、有机光伏(OPV)等领域中具有重要的应用前景。通过对前驱液配方的改进及设备的优化,LTSP实现了在柔性衬底上制备ZnO薄膜。因此,从不同溶液体系讨论国内外近年来LTSP制备ZnO薄膜技术的研究现状、进展及其应用价值,同时介绍本课题组近期在该领域的研究进展,供有机光电器件领域同行参考。

关键词：ZnO薄膜;喷雾热解;衬底温度;柔性光电器件;