热处理及SmCo磁性层对TbDyFe薄膜磁致伸缩性能的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2004年第7期
论文作者：斯永敏 万红 赵恂 邱轶
关键词：TbDyFe薄膜; 超磁致伸缩; 磁控溅射;
摘 要：研究了SmCo薄膜的复合及热处理对TbDyFe薄膜磁性及磁致伸缩性能的影响.XRD分析表明制备态的TbDyFe薄膜为非晶态,在450℃退火后,样品仍保持非晶态结构.退火处理减少了薄膜的垂直各向异性,并且退火热应力有利于薄膜的易磁化轴转向膜面,从而提高了薄膜的磁导率和TbDyFe薄膜低场下的磁致伸缩值.磁控溅射的SmCo薄膜有良好的软磁性能,它的复合也能有效地增强TbDyFe薄膜的低场磁致伸缩性能.
斯永敏1，万红1，赵恂1，邱轶1
(1.国防科技大学,湖南,长沙,410073)
摘要:研究了SmCo薄膜的复合及热处理对TbDyFe薄膜磁性及磁致伸缩性能的影响.XRD分析表明制备态的TbDyFe薄膜为非晶态,在450℃退火后,样品仍保持非晶态结构.退火处理减少了薄膜的垂直各向异性,并且退火热应力有利于薄膜的易磁化轴转向膜面,从而提高了薄膜的磁导率和TbDyFe薄膜低场下的磁致伸缩值.磁控溅射的SmCo薄膜有良好的软磁性能,它的复合也能有效地增强TbDyFe薄膜的低场磁致伸缩性能.
关键词:TbDyFe薄膜; 超磁致伸缩; 磁控溅射;
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