NdFeB薄膜制备及对TbFe薄膜磁致伸缩性能的影响
来源期刊：金属功能材料2001年第3期
论文作者：谢海涛 斯永敏 黄锐 万红
关键词：磁控溅射; NdFeB薄膜; TbFe薄膜; 超磁致伸缩;
摘 要：本文采用磁控溅射镀膜技术，制备NdFeB、TbFe单层及TbFe/NdFeB复合薄膜。通过设计正交试验，优化溅射工艺参数。采用振动样品磁强仪、X射线衍射仪对不同热处理温度处理的NdFeB薄膜的磁学性能、晶体结构进行了研究，并采用电容位移测量法对TbFe薄膜和TbFe/NdFeB复合薄膜的磁致伸缩系数进行测量。研究结果表明，NdFeB薄膜和TbFe薄膜为面内易磁化方向，在低于400℃温度下真空热处理，薄膜保持非晶态，显现较好的软磁性能。与TbFe薄膜复合，可以大大降低薄膜的矫顽力，其低场磁致伸缩性能优于TbFe单层薄膜，这为提高TbFe薄膜的低场磁致伸缩性能的研究提供了一条新途径。
谢海涛1，斯永敏1，黄锐1，万红1
(1.国防科技大学材料工程与应用化学系)
摘要:本文采用磁控溅射镀膜技术，制备NdFeB、TbFe单层及TbFe/NdFeB复合薄膜。通过设计正交试验，优化溅射工艺参数。采用振动样品磁强仪、X射线衍射仪对不同热处理温度处理的NdFeB薄膜的磁学性能、晶体结构进行了研究，并采用电容位移测量法对TbFe薄膜和TbFe/NdFeB复合薄膜的磁致伸缩系数进行测量。研究结果表明，NdFeB薄膜和TbFe薄膜为面内易磁化方向，在低于400℃温度下真空热处理，薄膜保持非晶态，显现较好的软磁性能。与TbFe薄膜复合，可以大大降低薄膜的矫顽力，其低场磁致伸缩性能优于TbFe单层薄膜，这为提高TbFe薄膜的低场磁致伸缩性能的研究提供了一条新途径。
关键词:磁控溅射; NdFeB薄膜; TbFe薄膜; 超磁致伸缩;
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