一种MEMS工艺编辑软件的设计与实现
来源期刊：机械设计与制造2007年第2期
论文作者：刘丹 李晓莹 常洪龙 徐景辉
文章页码：144 - 146
关键词：MEMS;工艺文件;TCl/TK;工艺仿真;
摘 要：目前工艺仿真在MEMSCAD中的地位日趋重要,针对MEMS工艺的复杂性与多样化,该文在对工艺信息分析的基础上,采用TCl/TK语言开发了一种用于MEMS工艺流程编辑的软件。由该软件生成的工艺文件与版图文件结合,可用于器件的工艺仿真;且通过仿真结果,可验证工艺文件的合理性。
刘丹，李晓莹，常洪龙，徐景辉
摘 要：目前工艺仿真在MEMSCAD中的地位日趋重要,针对MEMS工艺的复杂性与多样化,该文在对工艺信息分析的基础上,采用TCl/TK语言开发了一种用于MEMS工艺流程编辑的软件。由该软件生成的工艺文件与版图文件结合,可用于器件的工艺仿真;且通过仿真结果,可验证工艺文件的合理性。
关键词：MEMS;工艺文件;TCl/TK;工艺仿真;
