热处理对KTN薄膜结构和形貌的影响
来源期刊:功能材料与器件学报2000年第1期
论文作者:黄桂玉 罗英军 王世敏 王龙海
关键词:KTN; Sol-Gel热处理; 钙钛矿结构; 表面形貌;
摘 要:本文用XRD、SEM等分析手段,对用Sol-Gel法制备的Gel膜在不同热处理条件下处理后的KTN薄膜进行分析.发现热处理的气氛、升降温速率、烧结温度对薄膜的结构和形貌影响很大,并对其的影响进行了分析讨论.在合适的热处理条件下,在SrTiO3(100,111)衬底上制备出了高取向、晶粒大小均匀、排列紧密、纯钙钛矿结构的KTN薄膜.
黄桂玉1,罗英军1,王世敏1,王龙海1
(1.湖北大学压电陶瓷技术研究所,湖北,武汉,430062;
2.湖北十堰大学电子工程系,湖北,十堰,442000)
摘要:本文用XRD、SEM等分析手段,对用Sol-Gel法制备的Gel膜在不同热处理条件下处理后的KTN薄膜进行分析.发现热处理的气氛、升降温速率、烧结温度对薄膜的结构和形貌影响很大,并对其的影响进行了分析讨论.在合适的热处理条件下,在SrTiO3(100,111)衬底上制备出了高取向、晶粒大小均匀、排列紧密、纯钙钛矿结构的KTN薄膜.
关键词:KTN; Sol-Gel热处理; 钙钛矿结构; 表面形貌;
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