OB LDMOS器件的性能研究

来源期刊：功能材料与器件学报2012年第2期

论文作者：唐盼盼 王颖

文章页码：178 - 182

关键词：SOI结构;OB结构;导通电阻;电荷补偿;

摘    要：研究了一种具有OB（Oxide By-passed）结构的SOI LDMOS器件,分析了该器件的耐压机理以及结构特点,并通过SILVACO TCAD软件对该结构进行三维数值仿真。通过仿真验证可知,该结构通过类超结（SJ）电场调制技术获得了与超结器件类似的性能,该结构与SJ LDMOS在相同的尺寸情况下尽管耐压相同,但导通电阻从3.81mΩ.cm2降低到1.96mΩ.cm2,同时克服了SJ LD-MOS器件制造工艺上高深宽比以及电荷浓度难易精确匹配的缺陷。